MEMS熱式流量傳感器及其應(yīng)用

流量這一參數(shù)是工業(yè)生產(chǎn)過程、科學(xué)實(shí)驗(yàn)計(jì)量等多領(lǐng)域所必須測量的重要參數(shù)。用于流量測量的流量傳感器品種非常多，在微電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)和通信網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的融入下，也在不斷推陳出新。

其中熱式流量傳感器為流量計(jì)量帶來了一場革命，實(shí)現(xiàn)了直接測量流體質(zhì)量流量的目的。熱式質(zhì)量流量傳感器能夠利用比較簡單的構(gòu)造來準(zhǔn)確地測量工藝氣體的質(zhì)量流量，因此廣泛地普及在醫(yī)療、汽車、食品等氣體監(jiān)控和測量領(lǐng)域擁也有廣泛的應(yīng)用。

近年來，隨著對(duì)微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)的深入研究和取得的進(jìn)展，傳統(tǒng)的工業(yè)和流體力學(xué)研究的流量傳感器向高集成度、微型化、高精度、高可靠性方向發(fā)展，利用 MEMS 熱式原理對(duì)管路氣體介質(zhì)進(jìn)行流量監(jiān)測的流量傳感器已成為重要研究方向。

煒盛科技自主研發(fā)的微流量傳感器于2012年即成功面世并取得相關(guān)專利，同時(shí)我們還參與起草了《JB/T 13111-2017 熱式質(zhì)量流量傳感器》的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

2022年，在原有的MEMS熱式微流量傳感器基礎(chǔ)上，升級(jí)推出FR03/FR03H/FR06/FR20新款流量傳感器，采用低壓損設(shè)計(jì)，廣泛用于各類氣體流量測量。

微流量傳感器是利用熱力學(xué)原理對(duì)流道中的氣體介質(zhì)進(jìn)行流量檢測，具有很好的精度與重復(fù)性。在工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)實(shí)驗(yàn)、產(chǎn)品質(zhì)量把控、生產(chǎn)效率提高、能源節(jié)約等方面發(fā)揮著重要作用。

流量傳感器在醫(yī)療領(lǐng)域，如：醫(yī)院病床供氧、樓層管道供氧以及呼吸機(jī)、制氧機(jī)、麻醉機(jī)中有廣泛的應(yīng)用。